ʻO ST.CERA Hana Semiconductor Kiʻekiʻe-Precision Ceramic Chuck

Wehewehe Pōkole:

Hoʻokumu ʻia e ke kaomi isostatic anu a sintered ma lalo o ke ana wela kiʻekiʻe, a laila mīkini pololei a hoʻopili ʻia, hiki i nā ʻāpana ʻokoʻa seramika ke hoʻokō i nā koi koʻikoʻi o nā lako semiconductor me kona mau hiʻohiʻona o ke kūpaʻa ʻana i ka ʻaʻahu, ke kūpaʻa ʻana i ka palaho, ka hoʻonui wela haʻahaʻa, a me ka insulation. Hiki i nā seramika ke hana i nā ʻano lako hana semiconductor me ke kūlana o ke ana wela kiʻekiʻe, ka vacuum a i ʻole ke kinoea corrosive no ka manawa lōʻihi.

Hana ʻia mai ka pauka alumina maʻemaʻe kiʻekiʻe, i hana ʻia e ke kaomi isostatic anu, ka sintering wela kiʻekiʻe a me ka hoʻopau pololei, hiki iā ia ke hōʻea i ka hoʻomanawanui ana i ka ± 0.001 mm, ka hoʻopau ʻana o ka ʻili Ra 0.1, ke kūpaʻa mahana 1600 ℃.