Pine Kākoʻo Keramika no nā Mea Hana Hana Semiconductor
Hoʻohana ʻia nā pine kākoʻo keramika a St.Cera (i ʻike ʻia hoʻi he mau pine hāpai a i ʻole nā pine kākoʻo) i loko o nā keʻena hana semiconductor e hoʻokiʻekiʻe i nā wafers a i ʻole nā substrates i ka wā e lawelawe ai, hoʻomehana ai, a hoʻoluʻu paha. Hana ʻia mai ka 99.8% alumina a i ʻole silicon nitride, hāʻawi kēia mau pine i ka ikaika compressive kiʻekiʻe, ke kūpaʻa wela, a me ke kūpaʻa kemika. ʻO ka hoʻolālā hemispherical a i ʻole ka piko pālahalaha e pale aku i ka wafer scratching.
Nā kikoʻī(ʻAlumina 99.8%):
| Waiwai | Waiwai |
| Mea Hana | 99.8% Al₂O₃ a i ʻole Si₃N₄ |
| Ka lōʻihi | 10 – 100 mm |
| Anawaena | 1 – 10 mm |
| ʻAno o ka piko | Palahalaha, hemispherical, ʻoi |
| Ikaika Hoʻopaʻa (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| Mahana Hana Loa (Al₂O₃) | 1600°C |
| Hoʻopau ʻili | Hoʻopaʻa ʻia (Ra ≤0.4 μm) |
| Ke ahonui ma ke anawaena | ±0.01 mm |
Nā noi:
Nā pine hāpai i loko o nā keʻena CVD/PVD
Nā pine kākoʻo no ka hoʻomoʻa ʻana i ka pā wela
Nā ʻōnaehana kākoʻo kāleka noiʻi
Nā kākoʻo waʻa umu Quartz
Hana ʻana:
Wili kikoʻī me ke kikowaena ʻole o OD → wili daimana o ke ʻano piko → hoʻomaʻemaʻe ultrasonic → nānā ʻana i ka 100%.
Mana Hoʻomalu Kūlana:
ʻO CMM no ka lōʻihi/ke anawaena, ka mea hoʻohālikelike optical no ka radius tip, ka hoʻāʻo ʻana i ka ukana e hōʻoia i ka ikaika compressive (laʻana random no kēlā me kēia lot). ʻAʻohe haumia ferromagnetic (i hōʻoia ʻia me ka magnet).
Nā Pōmaikaʻi ma luna o nā Pine Metal a i ʻole Quartz:
5x ka lōʻihi o ke ola ma mua o ke kila kila
ʻAʻohe haumia metala i loko o ke keʻena hana
ʻOi aku ka kiʻekiʻe o ka mahana ma mua o ka quartz (1600°C vs 1100°C)
ʻIli ʻaʻole e pipili (hoʻemi ʻia ka hoʻopili ʻana o nā ʻāpana)
Hoʻopilikino ʻana:
Nā ʻaoʻao piko he nui, ke kumu wili, a i ʻole ke koʻokoʻo i hoʻopaʻa ʻia.
Hāʻawi pū mākou i nā pine SiC no nā wahi plasma koʻikoʻi.
